株式会社 シンワバネス

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工業用ヒーター

高温用マイカヒーター

大型パネル、高温、均一な温度分布の実現に最適なヒーターです。

高温、均一な温度分布の実現に最適なヒーターです。

概要

 

ニッケルクロム系箔使用と独自の技術開発により
マイカヒータで実現が難しかった高温800℃の使用が可能になりました。
 
特殊形状でも、1個から短納期で製作します
 
高温マイカヒーターの特長
・厚さ1ミリ程度と薄くて熱容量が小さいため、高速昇温が可能
・精密なパターン均一な温度分布が得られる(熱解析設計導入)
・被加熱面に対する接触面積が大きく、加熱効率が良好
・内部発熱体を自由に設計できるため、被加熱物に合わせた形状が可能
・液晶製造プロセスでの使用が優れている
・800℃での高温域でもヒータ性能保持、連続運転可能
・材料にオーステナイト系SUS箔使用により、高温領域まで対応可能
・真空中での使用が可能
・金属汚染をコントロールできる(エンドユーザ実績有り)
 
高温マイカヒーターの仕様
・最高使用温度  800℃
・発熱体 ニッケルクロム箔(Ni-Cr)鉄クロム箔(Fe-Cr)
・最高出力8.0W/cm
 
高温マイカヒーターの用途
・液晶パネル製造工程
・太陽電池用Siウェハー焼成
・有機EL製造工程
・各種半導体装置用

高温マイカヒータの製作例