高温、均一な温度分布の実現に最適なヒーターです。

概要

 

ニッケルクロム系箔使用と独自の技術開発により

マイカヒータで実現が難しかった高温600℃の使用が可能になりました。
 

特殊形状でも、1個から短納期で製作します

 

高温マイカヒーターの特長

・厚さ１ミリ程度と薄くて熱容量が小さいため、高速昇温が可能

・精密なパターン均一な温度分布が得られる（熱解析設計導入）

・被加熱面に対する接触面積が大きく、加熱効率が良好

・内部発熱体を自由に設計できるため、被加熱物に合わせた形状が可能

・液晶製造プロセスでの使用が優れている

・600℃での高温域でもヒータ性能保持、連続運転可能

・材料にオーステナイト系SUS箔使用により、高温領域まで対応可能

・真空中での使用が可能

・金属汚染をコントロールできる（エンドユーザ実績有り）

 

高温マイカヒーターの仕様

・最高使用温度　 600℃
・発熱体 ニッケルクロム箔（Ni-Cr）鉄クロム箔（Fe-Cr）

・最高出力8.0W/cm

 

高温マイカヒーターの用途

・液晶パネル製造工程

・太陽電池用Siウェハー焼成

・有機EL製造工程

・各種半導体装置用

高温マイカヒータの製作例