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Siウェハー(モニター)

超高純度、高耐食性及び耐熱性に優れているモニタ用Siウェハーです。

産業用ヒーター以外の製品も
取り揃えております。

製品について

商品名
SiC加工品
仕様
焼結品、CVD品
用途
半導体製造装置等の耐熱、耐食、耐摩耗部材