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株式会社シンワバネスは、株式会社リケンヒートテクノと合同で、2025年12月17日（水）〜19日（金）に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」に出展いたします。

今回の展示では、「新たな接点を。ー技術をつなぎ、世界をつなぐー」をテーマに、最新技術を駆使したステージヒーター・ヒートブロックの展示を行います。

当社の“オーダーメイドの熱技術”がどのように品質と生産性向上に貢献できるかを、ブースにて実機展示・技術相談を通してご案内いたします。

#ステージヒータ（STAGE HEATER）

ステージヒータは、Waferを効率的に加熱し、枚葉成膜装置や洗浄装置等に対応する製品です。
アルミ、ステンレス、ニッケルなど多様な材質が選択可能で自由度の高いカスタマイズ性を備え、装置やプロセスニーズに合わせた設計が可能です。
更に綿密な熱シミュレーションによって高度な性能最適化を実現します。

#ヒートブロック（HEAT BLOCK）

マグネット固定型ヒートブロックは、工具不要でワンタッチ着脱を実現。
均熱性と施工性を大幅向上し、メンテナンス性と安全性を両立。磁力による均一締結で熱伝導ロスを低減し、異形継手やバルブにも柔軟対応。
温度評価試験で性能を裏付けた革新的製品です。現場施工から保守を効率化、作業コストを大幅削減可能な製品です。